| Titre : | Gravure aux rayons X : la nano-écriture est pour demain (1996) |
| Type de document : | Article : texte imprimé |
| Dans : | Revue du palais de la découverte (235, février 1996) |
| Article : | p. 6-7 |
| Descripteurs : | |
| Mots-clés: | micro-électronique |
| Nature du document : | documentaire |
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